粉體行業在線展覽
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208C高真空鍍碳儀為SEM、TEM、STEM、EDS/WDS、EBSD和微探針分析提供高質量的鍍膜技術。系統結構緊湊,所占空間小。樣品室直徑150mm,可快速抽真空進行鍍膜處理,處理周期約10分鐘。高真空條件下使用超純的碳棒為嚴格的高分辨掃描電鏡、透射電鏡、EBSD及探針分析提供高質量的鍍膜處理。.組件設計方式可方便地對不同優化條件下的各種應用進行切換
主要特性
電壓控制的碳棒具有多次蒸發能力
反饋控制可以得到準確一致的鍍膜厚度
可選擇操作方法優化鍍膜過程
繁忙條件下可進行自動蒸發控制
低成本高分辨膜厚監測儀保證可重復的鍍膜效果
80L/s的分子渦輪泵可快速地使直徑150mm的樣品室達到鍍膜要求的真空
可配備無油渦旋式真空泵選件
可通過以下方式節約成本:無須水冷卻系統
無須加熱或冷卻
無須液氮
制樣周期短
節省空間
碳蒸發控制
208C對碳棒-Bradley型碳蒸發源使用獨特的完全集成的反饋控制設計。
電流和電壓通過磁控頭的傳感線監控,蒸發源作為反饋回路中的一部分被控制。該蒸發裝置使常規的碳棒具有優良的穩定性和重現性。功率消耗低,碳棒具有異常的重新蒸鍍特性。
蒸發源使用兩步超純碳棒。
蒸發源可以手動“脈沖”或“連續”的方式進行鍍膜。“脈沖”方式如果和MTM-10高分辨膜厚監測儀一起使用,可以準確得到所需要的膜厚。自動方式下的操作非常方便,操作者只要設定電壓和時間,可以得到一致的鍍膜效果。
208C樣品室
樣品室的組件設計方式可適應多種附件使用。
通過簡單調節工作距離,可方便地調節蒸發速率。
獨特的標準化高/低真空壓力調節通過精密針閥完成。
高真空用于**質量地鍍膜,如用于TEM制樣。
低真空用于TEM柵網的輝光放電清潔以及掃描電鏡觀察中形貌復雜樣品的鍍膜。
對于SEM、EDS/WDS 和探針分析,旋轉-行星轉動-傾斜樣品臺可對同時多個樣品進行一致的鍍膜處理。
旋轉-傾斜臺特別為TEM樣品處理設計,而且可以放置25 x 75mm的玻片。
技術參數 | |
樣品室大小 | 直徑150mm、高度 165mm - 250mm可調 |
蒸發源 | Bradley型 (6.15mm直徑 rods) ,高強度不銹鋼結構 |
蒸發控制 | 基于微處理器的反饋回路控制,能夠進行遠程電流/電壓感應,基于真空水平變量的安全互鎖功能,**電流180A,提供過流保護 |
樣品臺 | 可安裝12個掃描電鏡樣品座 高度在60mm范圍內可調 旋轉-行星轉動-傾斜樣品臺(選件) |
模擬計量 | 真空, 雙范圍 Atm - 0.001mb ;1 x 10-3mb- 5 x 10-6 mb 電流, 0 - 200A |
控制方法 | 自動蒸發控制,使用程序設定的電壓和時間,自動放氣 以脈沖或連續方式進行完全手動控制 數字定時器(0-30s) 數字電壓設置(0.1 to 5.5V) |
真空系統 | |
結構 | 分子渦輪泵/旋片泵組合,無油渦旋式真空泵(選件) |
抽真空速度 | 80 L/s. |
抽真空時間 | 1.5 min至 1 x 10-4mb |
極限真空 | 5 x 10-6mb |
桌上系統 | 旋片泵可置于抗震臺上,全金屬真空耦合系統 |
系統要求 | |
電源 | 100-120 或 200-240 VAC, 50/60Hz |
功率 | 1200 VA max. |