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德國Phsytech深能級瞬態譜 DLTS
我們在1990年推出了首臺數字DLTS,隨著電腦技術的發展,使得在短時間內進行復雜計算成為可能。在純指數發射過程模型的基礎上,用各種數學模型分析測量到的瞬態過程,如傅里葉轉換、拉普拉斯轉換、多指數瞬態擬合、ITS(等溫瞬態光譜)信號重疊法、溫度掃描信號重疊法(重折疊)。與其他系統相比,HERA-DLTS具有無法比擬的能量分辨率。
特點
l自動接觸檢查
l常規測試和加強軟件
l自動電容補償
l三終端FET電流瞬態測量
l大電容和濃度范圍
l靈活性高、模塊化硬件
l支持各種冷卻倉和溫度控制器
l傅里葉轉換(F-DLTS),比例窗口和用戶自定義校正功能
lDLTFS(深層瞬態傅里葉光譜儀)評價
l直接測量發射瞬態
l使用28個不同的相關功能(軟件)通過一次溫度掃描,給出28個溫度掃描信號
操作模式
lC-DLTS(電容模式)
lCC-DLTS(定電容模式)
lI-DLTS(電流模式)
lDD-DLTS(雙關聯模式)
lZerbst-DLTS
lO-DLTS(光激發模式)
lFET-Analysis
lMOS-Analysis
lITS(等溫瞬態光譜儀)
l缺陷分析
l俘獲截面測量
lI/V, I/V(T)查理森Plot分析
lC/V, C/V(T)
lTSC/TSCAP
lPITS(光子誘導瞬態譜)
lDLOS(特殊系統)