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NMM-1目前立足的觀念允許利用Z軸作為觸覺(jué)探索方向，這意味著正好是一個(gè)高程測(cè)量將關(guān)聯(lián)到xy平面的每個(gè)點(diǎn)。這些測(cè)量值被稱為2.5D表面測(cè)量。NMM-1的良好的計(jì)量特性被用來(lái)校準(zhǔn)傳遞標(biāo)準(zhǔn)，例如階梯高度，單維和二維位移取代標(biāo)準(zhǔn)，平面度標(biāo)準(zhǔn)和粗糙度標(biāo)準(zhǔn)，在全世界的一些政府機(jī)構(gòu)。一些循環(huán)比較測(cè)量已經(jīng)演示了它的潛能。然而，垂直面既不能被發(fā)現(xiàn)也不能用2.5D輪廓度測(cè)量進(jìn)行分析。問(wèn)題也會(huì)出現(xiàn)在超過(guò)一定角度的陡峭的表面梯度，例如:鏡頭或沖壓模具的彎曲表面。為了滿足微型元件的高精度測(cè)量的所有需求，NMM-1通過(guò)增加3D功能進(jìn)行升級(jí)。在很大程度上，這從本質(zhì)上意味著通過(guò)合并來(lái)自I++/DME規(guī)格的許多指令來(lái)對(duì)固件進(jìn)行修改。開(kāi)環(huán)掃描命令允許驅(qū)使探針傳感器接近并接觸被測(cè)量物體的各種選擇，已經(jīng)合并，并基于從傳感器上接收來(lái)的信號(hào)對(duì)掃描方向進(jìn)行計(jì)算。單點(diǎn)測(cè)量的