Optical Coating System/光學(xué)涂覆系統(tǒng)

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)NOC-4000光學(xué)涂覆系統(tǒng)提供***的技術(shù)，系統(tǒng)的設(shè)計(jì)也可以支持其中任一個(gè)腔體的單獨(dú)使用，同時(shí)具備各自的自動(dòng)上/下載片功能。在一個(gè)腔體中實(shí)現(xiàn)原子級(jí)清洗和光學(xué)樣片拋光，然后把樣片傳送到第二級(jí)腔體中對(duì)同一樣片進(jìn)行表面涂覆，整個(gè)過(guò)程不間斷真空。

產(chǎn)品應(yīng)用：

• 光學(xué)涂層

• 濺射

• IBAD離子束輔助沉積

• 離子束刻蝕清洗

• 離子束輔助反應(yīng)刻蝕

• 紅外涂層

• 表面處理

產(chǎn)品特點(diǎn)：

• RF射頻偏壓樣品臺(tái)

• 膜厚監(jiān)測(cè)儀

• 極限真空5x10-7Torr

• 高精度及高重復(fù)性

• 高品質(zhì)膜層

• 原子級(jí)的潔凈表面

• 原子級(jí)清洗和拋光

• 通過(guò)LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制

• 自動(dòng)上下載片

• 兩個(gè)腔體之間自動(dòng)傳送

• 菜單驅(qū)動(dòng)，4級(jí)密碼訪問(wèn)保護(hù)

• 完整的安全聯(lián)鎖

• 占地面積46”D x 44”W

選配項(xiàng)：

• 向下/向上濺射

• 共濺射

• DC，RF以及脈沖電源

• 離子束輔助沉積

• 電子束源

• 等離子源