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●SVTSMART（Scientific Materials and Applied Research Tool）脈沖激光沉積系統(tǒng)具有****的優(yōu)越性。它可以把激光燒蝕技術(shù)和我們所擁有的其他沉積技術(shù)（如RF源）集成于一臺設(shè)備上?？梢陨L各種可能的材料。

●配有6個(gè)旋轉(zhuǎn)靶臺，實(shí)現(xiàn)多層薄膜結(jié)構(gòu)生長。

●可與準(zhǔn)分子激光和Yag激光相連。

●在線監(jiān)控儀器做為可選件，為客戶提供高質(zhì)量的工藝信息反饋。

●裝載室不但可以裝取樣品，還可以與其他生長設(shè)備或分析設(shè)備相連。

應(yīng)用

●多元素復(fù)合氧化物

●高溫超導(dǎo)材料

●磁性材料、金屬材料

●低蒸汽壓材料

●MEMS

基本系統(tǒng)

腔室及真空泵

12’’ 快速門，250l/s 分子泵，全量程規(guī)

沉積源

靶臺，6X1’’(25mm) 靶，可以水平旋轉(zhuǎn)，

可Z方向移動(dòng)

樣品臺

1’’(25mm)大小，可加熱至800^oC（1000^oC可選），可水平旋轉(zhuǎn)，可Z方向移動(dòng)

在線工藝監(jiān)控

石英晶振沉積速率監(jiān)控儀

自動(dòng)化

自動(dòng)化裝置：

控制樣品溫度和旋轉(zhuǎn)

靶臺的位置控制

靶臺旋轉(zhuǎn)

氣體控制

速率及厚度計(jì)算（利用QCM輸出）

激光束掃描（可選）

激光束屏蔽控制

自動(dòng)泵抽和充氣

差分泵抽結(jié)構(gòu)

RHEED分析（可選）

裝載室壓強(qiáng)監(jiān)控（可選）

主要特點(diǎn)

RF射頻等離子源(氧，氮)

升級高真空

增加進(jìn)樣室

升級為Laser-MBE （L-MBE）系統(tǒng)

自動(dòng)軟件控制

提供更潔凈的薄膜生長環(huán)境，**的溫度控制解決方案.