粉體行業(yè)在線展覽
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沈陽科晶自動化設備有限公司
遼寧
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產(chǎn)品簡介：GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀是依據(jù)二極（DC）直流濺射原理設計而成的*簡單、可靠、經(jīng)濟的鍍膜設備，適用于實驗室各種復合膜樣品的制備，以及非導體材料實驗電極的制作。
GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀操作視頻
產(chǎn)品型號 | GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀 | ||
| 安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設備需選配自循環(huán)冷卻水機（加注純凈水或者去離子水） 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通風裝置：不需要 | ||
主要特點 | 1、設有真空表、濺射電流表，可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。 2、通過調節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得**鍍膜效果。 3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。 4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。 5、根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。 6、濺射頭采用Peltier制冷技術，可得到高性能、精細顆粒的涂層。 7、可用水冷濺射頭、水冷載物臺。 | ||
技術參數(shù) | 1、靶：?50mm 2、真空室：?160mm×120mm 3、**真空度：≤4×10-2mbar 4、**電流：50mA（100mA） 5、可設定*長時間：9999s 6、微型真空氣閥：連接?3mm軟管 7、**電壓：1600V DC 8、機械泵：2L/s | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：360mm×300mm×380mm | ||
標準配件 | 1 | 金靶材 | 1個 |
2 | 進氣針閥 | 1個 | |
3 | 保險絲 | 2個 | |
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | ||
