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1100℃三溫區帶滑軌8.5″管式爐

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沈陽科晶自動化設備有限公司

遼寧

產品規格型號
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255

產品介紹

產品簡介:1100℃三溫區帶滑軌8.5管式爐GSL-1100X-8.5-SR-III是三溫區滑軌真空管式爐,可通入混合氣體進行低壓力化學氣相沉積處理。本機可在不同氣氛下,在≤6″的基片上生長多種薄膜。

控溫儀表操作視頻

產品型號

1100℃三溫區帶滑軌8.5管式爐GSL-1100X-8.5-SR -III

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:需要選配冷水機

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:如作為CVD系統使用,需自備氣源(標準帶有寶塔接頭,可自費改制成為雙卡套接頭)

4、工作臺:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重300kg以上

5、通風裝置:需要

主要特點

1、爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環保節能。內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層,可以提高設備

  的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。

2、滑軌式法蘭結構,方便取放樣品。

3、設有雙K型測溫熱電偶和一個額外的溫度校準檢測系統。

4、三個加熱區域實現更長的溫度區和一個特定的溫度梯度。

5、采用三個PID控制器,通過可控硅來進行溫度控制,可以設置30段升降溫程序。

6、右端法蘭裝載石英管堵,用以阻止熱輻射;左端法蘭上設有4片磨砂石英擋片,用于阻止熱輻射。

7、已通過CE認證。

技術參數

1、電源:單相220V 8KW

2、石英管:外徑?216mm,內徑?208mm,長1300mm

3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲

4、加熱區域:長900mm

5、溫區:3個,各300mm

6、恒溫區域:500mm(三個溫區設置一樣的溫度)

7、工作溫度:≤1100℃,連續工作400-1000

8、升降溫速率:≤10/min

9、控溫精度:±1

10、真空度:10-2torr(機械泵),10-5torr(分子泵)

11、熱偶檢測口:1

12、真空接口:KF-25

13、進氣接口:5路,精密不銹鋼針閥密封

14、爐體:1000mm×700mm×1060mm

15、滑軌:600mm

產品規格

尺寸:1780mm×1780mm×1650mm;重量:354kg

標準配件

1

石英管堵

1

2

KF-25真空擋板閥

1

3

KF-40不銹鋼波紋管

1

可選配件

1、軟件接口模塊和PC

2K型熱電偶?6.35mm×915mm,用于對爐膛溫度校準)

3冷水機

產品咨詢

1100℃三溫區帶滑軌8.5″管式爐

沈陽科晶自動化設備有限公司

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