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產品簡介:1100℃三溫區帶滑軌8.5″管式爐GSL-1100X-8.5-SR-III是三溫區滑軌真空管式爐,可通入混合氣體進行低壓力化學氣相沉積處理。本機可在不同氣氛下,在≤6″的基片上生長多種薄膜。
控溫儀表操作視頻
產品型號 | 1100℃三溫區帶滑軌8.5″管式爐GSL-1100X-8.5-SR -III | ||
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:需要選配冷水機 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:如作為CVD系統使用,需自備氣源(標準帶有寶塔接頭,可自費改制成為雙卡套接頭) 4、工作臺:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重300kg以上 5、通風裝置:需要 | ||
主要特點 | 1、爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環保節能。內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層,可以提高設備 的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。 2、滑軌式法蘭結構,方便取放樣品。 3、設有雙K型測溫熱電偶和一個額外的溫度校準檢測系統。 4、三個加熱區域實現更長的溫度區和一個特定的溫度梯度。 5、采用三個PID控制器,通過可控硅來進行溫度控制,可以設置30段升降溫程序。 6、右端法蘭裝載石英管堵,用以阻止熱輻射;左端法蘭上設有4片磨砂石英擋片,用于阻止熱輻射。 7、已通過CE認證。 | ||
技術參數 | 1、電源:單相220V 8KW 2、石英管:外徑?216mm,內徑?208mm,長1300mm 3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲 4、加熱區域:長900mm 5、溫區:3個,各300mm長 6、恒溫區域:500mm(三個溫區設置一樣的溫度) 7、工作溫度:≤1100℃,連續工作400℃-1000℃ 8、升降溫速率:≤10℃/min 9、控溫精度:±1℃ 10、真空度:10-2torr(機械泵),10-5torr(分子泵) 11、熱偶檢測口:1個 12、真空接口:KF-25 13、進氣接口:5路,精密不銹鋼針閥密封 14、爐體:1000mm×700mm×1060mm 15、滑軌:600mm | ||
產品規格 | 尺寸:1780mm×1780mm×1650mm;重量:354kg | ||
標準配件 | 1 | 石英管堵 | 1個 |
2 | KF-25真空擋板閥 | 1個 | |
3 | KF-40不銹鋼波紋管 | 1根 | |
可選配件 | 1、軟件接口模塊和PC機 2、K型熱電偶(?6.35mm×915mm,用于對爐膛溫度校準) 3、冷水機 |