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光學(xué)三維在線測(cè)量儀IF-Sensor R25

光學(xué)三維在線測(cè)量儀IF-SensorR25 是奧地利alicona公司專門針對(duì)生產(chǎn)中全自動(dòng)測(cè)量形貌和粗糙度而設(shè)計(jì)的一款光學(xué)三維測(cè)量儀。

系 統(tǒng)

傳感器與生產(chǎn)線相結(jié)合使得在測(cè)量微米和亞微米級(jí)別的表面特性時(shí)該設(shè)備可以提供高分辨率，可重復(fù)型和可溯源的結(jié)果。所測(cè)得結(jié)果的分辨率是傳統(tǒng)2D測(cè)量和接觸式測(cè)量所不能比擬的。

優(yōu) 勢(shì)

在研發(fā)和生產(chǎn)過程中，自動(dòng)變焦（Focus-variation)技術(shù)可以提供高分辨率、高重復(fù)性的測(cè)量結(jié)果。因此IF-SensorR25為研發(fā)和生產(chǎn)提供了同一個(gè)測(cè)量流程平臺(tái)。標(biāo)準(zhǔn)化界面(QDAS)支持生產(chǎn)中的簡易快速整合，實(shí)現(xiàn)了生產(chǎn)線和實(shí)驗(yàn)室測(cè)量結(jié)果的對(duì)比。

光學(xué)三維在線測(cè)量儀IF-SensorR25的技術(shù)參數(shù)：

位移距離（Z）：26mm（自動(dòng)調(diào)節(jié)）

**掃描高度：25mm

**垂直分辨率：20nm

*小測(cè)量半徑：2μm

*小測(cè)量楔角：20°

*小測(cè)量粗糙度(Ra):80nm

*小測(cè)量粗糙度(Sa):50nm

**測(cè)量傾斜角：87°