99亚洲狠狠色综合久久位-99亚洲精品色情无码久久-99亚洲男女激情在线观看-9国产露脸精品国产麻豆-亚洲一区精品中文字幕-亚洲一区精品伊人久久

臺(tái)式小型機(jī)，PLC人機(jī)自動(dòng)控制，簡(jiǎn)單易用，適用于實(shí)驗(yàn)室及小批量工業(yè)生產(chǎn)中材料表面清洗、蝕刻、活化等工藝。

提供三種功能配置：

1. 常規(guī)的等離子清洗和等離子刻蝕

2. 反應(yīng)離子刻蝕（RIE）

3. 可轉(zhuǎn)換結(jié)構(gòu)（包含可以進(jìn)行各向同性和各向異性的等離子工藝）可拆卸的托盤構(gòu)造。

等離子刻蝕機(jī)技術(shù)參數(shù)：

設(shè)備型號(hào)：PE-100

腔體尺寸：長(zhǎng)方形腔體，長(zhǎng)度305 x深度368 x高度305mm；

腔體材質(zhì)：T-6鋁合金一體成型；

腔體容積：34升；

射頻電源：13.56MHz；0~300W自動(dòng)調(diào)節(jié)；

工作壓力范圍：1-2000 mT；

氣體流量控制：0-50cc/min帶精密針閥；

皮拉尼真空計(jì)： 0-1Torr；