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意力博通濺射儀ETD-900C

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世友創業(北京)科技有限公司

北京

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產品介紹

ETD-900C是一款具有濺射和蒸發兩種功能的鍍膜設備,由一臺ETD900型濺射儀和一個蒸發電源箱及樣品室蒸發上蓋組成,由電纜將兩個機箱中的控制部件連接起來,通過面板上的按鍵狀態,經濺射機箱中的CPU判別操作項,以確定允許與否(具體操作見說明書)。設備使用簡便,性能可靠,蒸發材料為碳繩,濺射材料為金、鉑等。

型號

ETD-900c

儀器尺寸

400mm×300mm×400mm(L×W×H)

靶(上部電極)

50mm×0.1mm(D×H)

真空樣品室

硼硅酸鹽玻璃 160mm×110mm(D×H)

樣品臺

50mm (D)

工作電壓

0-1200V (DC)可調

濺射電流

0-50mA

濺射定時

1-3600S

蒸碳電流

0-50A(AC)

真空泵

2升機械旋轉泵

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意力博通濺射儀ETD-900C

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