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ENERGETIQ 激光驅(qū)動(dòng)寬帶光源

Energetiq光源是一款高亮度，高穩(wěn)定、長(zhǎng)壽命寬譜光源，采用LDLS&;激光驅(qū)動(dòng)光源技術(shù)，使用連續(xù)激光直接加熱氙離子至需要的溫度，以產(chǎn)生高效的寬頻譜光。具有高可靠性，高性能，高亮度，長(zhǎng)壽命等特點(diǎn)。其產(chǎn)品具有很寬的光譜范圍，譜線包括軟X 射線（SXR），遠(yuǎn)紫外線（EUV）， 深紫外線（DUV）， 并覆蓋從可見(jiàn)光到紅外光區(qū)（IR），波長(zhǎng)范圍從 170nm到2100nm 以上。無(wú)電極的 LDLS 技術(shù)可以產(chǎn)生少量，高亮度的等離子體，以獲取高效的光源，并且延長(zhǎng)了燈的使用壽命。

EQ-99X LDLS白光光源 EQ-99XFC LDLS白光光源

光纖耦合準(zhǔn)直方案 高功率聚焦耦合方案

EQ-99X產(chǎn)品參數(shù)：

Energetiq 自主研發(fā)的激光驅(qū)動(dòng)光源（LDLS）技術(shù)使用連續(xù)激光直接加熱氙離子至需要的溫度，以產(chǎn)生高效的寬頻譜光。使用傳統(tǒng)的方法，如弧光燈，氘燈，當(dāng)使用電極連接電源和等離子體時(shí)，燈的亮度，紫外能量，使用壽命非常有限。無(wú)電極的LDLS 技術(shù)可以產(chǎn)生少量，高亮度的等離子體，以獲取高效的光源，光譜范圍包括從深紫外到包括可見(jiàn)光及以上的譜線，并且延長(zhǎng)了燈的使用壽命。電極激光驅(qū)動(dòng)光源技術(shù)

新技術(shù)---連續(xù)激光等離子放電

寬譜線，高亮度，從 170nm 到包括可見(jiàn)光區(qū)至2000nm 以上。

EQ-99X LDLS白光光源工作原理

性能和特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)

l -連續(xù)激光等離子體放電

l -極高亮度，波長(zhǎng)完全覆蓋從170nm 到所有可見(jiàn)光及以上的波長(zhǎng)

l -解決了對(duì)燈需求的多樣性（可代替氘燈，鎢燈，氙弧光燈），簡(jiǎn)化光學(xué)系統(tǒng)

l -極好的空間穩(wěn)定性，可重復(fù)測(cè)量

l -可在極短時(shí)間，或很長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)有穩(wěn)定的能量輸出，可重復(fù)測(cè)量

l -長(zhǎng)壽命，無(wú)電極工作，降低消耗成本，減少光路校準(zhǔn)量

EQ-99X LDLS白光光源 亮度曲線

EQ-99X LDLS白光光源 工作壽命

相關(guān)資料

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典型用戶

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