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放大壓電致動(dòng)器(APA)

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科藝儀器有限公司

法國(guó)

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248

產(chǎn)品介紹

CEDRAT持有**的APA?,放大型壓電致動(dòng)器,預(yù)裝有機(jī)械放大的低電壓壓電陶瓷(MLA)。這種機(jī)械放大得益于一個(gè)不銹鋼的橢圓形外殼,沿其短軸進(jìn)行放大,沿其長(zhǎng)軸使MLA發(fā)生形變。此外殼同時(shí)也能對(duì)MLA進(jìn)行保護(hù)。它能提供更易于集成的機(jī)械接口。這種放大平衡張力架為MLA提供**的預(yù)應(yīng)力,在動(dòng)力學(xué)應(yīng)用中較其他傳統(tǒng)的杠桿型致動(dòng)器有更長(zhǎng)的壽命和更好的性能。

CEDRATAPATM致動(dòng)器擁有良好的位移性能,性能超過(guò)了那些直接或雙晶壓電致動(dòng)器

特點(diǎn):

·偏心遮罩有增大位移量和硬度的作用

·機(jī)械阻抗匹配和機(jī)電耦合性能良好

·能在很廣的頻率范圍內(nèi)操作(包括諧振頻率)

·壓電致動(dòng)器下的遮罩的彎曲程度考慮了放大器中合理的應(yīng)力分布

參數(shù):

位移范圍:27.8um-1000um

閉環(huán)分辨率:0.28nm-10nm

響應(yīng)時(shí)間:0.02ms-0.14ms

驅(qū)動(dòng)電壓低:150V

應(yīng)用:

視光學(xué): 光學(xué)透鏡的定位,微掃描,天文學(xué),聚焦定位,激光腔調(diào)諧,光纖的耦合和形變,F(xiàn)BG(光纖布拉格光柵)的形變,斬波器,干涉儀,PDP晶體切割,調(diào)制器等。

機(jī)械學(xué): 工具定位,取放工具,金剛石車(chē)削,橢圓活塞加工,阻尼,動(dòng)態(tài)控制,新一代超聲波或聲波振動(dòng),NDT,器件疲勞度監(jiān)測(cè)等。

流體學(xué): 比例閥,泵,測(cè)流技術(shù),噴墨技術(shù),注射器,液滴發(fā)生器,顆粒

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