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適合ΘX-Z運動的傾斜平移臺

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科藝儀器有限公司

法國

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面議

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248

產品介紹

傾斜平移臺采用了2個APA®致動器,可以產生兩種類型的運動:

?Z當兩個致動器同步致動時,軸運動(平移)可達80μm

?當兩個致動器相反致動時,ΘX運動(平移)可達+/- 0.6°

傾斜平移臺TT60SM基于APA60SM而設計,配備應變計以消除回程差。如果只要求傾斜運動,僅需要一個通道。TT60SM要求使用推拉式驅動器。

參數

單位

TT60SM

型號

V- TT60SM

備注

-

傳感器

SG

主動軸

TZ,RX

**空載位移[Tz]

um

80.0

角位移[Rx]

mrad(+/-)

11.00

Y方向的**面外位移

um

25.0

電壓范圍

V

-20…150

硬度

N/um

2.0

高度(Z 軸)

mm

18.0

寬度(Y 軸)

mm

13.0

長度(X 軸)

mm

25.0

縱向分辨率[Tz]

nm

0.8

角度分辨率[Rx]

urad

0.1

質量

g

65

空載共振頻率(在致動方向)

Hz

3000

響應時間

ms

0.17

電容 (每個電氣接口)

uF

1.55

機械接口(有效負載)

平坦表面 2.5 *8mm2

機械接口(框架)

2 M2螺紋孔

電氣接口

4 PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long withФ1 banana plug

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適合ΘX-Z運動的傾斜平移臺

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