粉體行業(yè)在線展覽
SCG300系列半導(dǎo)體級(jí)單晶硅爐
面議
南京晶升
SCG300系列半導(dǎo)體級(jí)單晶硅爐
453
◆ 設(shè)備具有高穩(wěn)定性、高真空度、高可靠性的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì);
◆ 配備自主研發(fā)的功率控制、鎖拉速等生長(zhǎng)控制算法;
◆ 熱場(chǎng)系統(tǒng)具有高水平微缺陷控制能力;
◆ 配合水冷套、超導(dǎo)磁場(chǎng)及基礎(chǔ)工藝包;
◆ 生長(zhǎng)晶體可滿足COP-FREE硅片指標(biāo)要求。
集成電路刻蝕用硅材料長(zhǎng)晶爐MSIR1050系列
氮化鋁原料提純爐ANET920系列
碳化硅原料合成爐 HC-SCET1000系列
藍(lán)寶石單晶爐SET300系列
藍(lán)寶石單晶爐SET280系列
SCMP/LP系列TSSG法碳化硅單晶爐
電阻加熱PVT SCR950系列碳化硅單晶爐
SCMP系列感應(yīng)加熱PVT碳化硅單晶爐
SCET420系列感應(yīng)加熱PVT碳化硅單晶爐
JSSD系列感應(yīng)加熱PVT碳化硅單晶爐
SCG400系列半導(dǎo)體級(jí)單晶硅爐
SCG300系列半導(dǎo)體級(jí)單晶硅爐
HTRH,HTRV
略
馳順TF-1200型旋轉(zhuǎn)管式爐
開啟式管式爐
RLY系列燃油熱風(fēng)爐
OTL1200、KTL1400、KTL1600、KTL1700
RLY 系列
ZHK-B02123K-200
略
OTF-1200X-25-60
YCVD-1706