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>SCMP/LP系列TSSG法碳化硅單晶爐

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SCMP/LP系列TSSG法碳化硅單晶爐

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南京晶升裝備股份有限公司

江蘇

產品規格型號

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面議

品牌：

南京晶升

型號：

SCMP/LP系列TSSG法碳化硅單晶爐

關注度：

488

產品介紹

◆ 設備采用TSSG法長晶，可獲得更高質量的晶體；

◆ 配備CCD晶體直徑監測系統、厚度監測系統，實時監測晶體生長狀態以提升長晶效率；

◆ 配合擴徑工藝，可實現大尺寸碳化硅單晶生長，同時可獲得高載流子濃度的P型碳化硅單晶。

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SCMP/LP系列TSSG法碳化硅單晶爐

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