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小型真空等離子清洗機具有清潔、灰化、刻蝕等功能，可用來清潔納米級樣品，去除光刻膠，清潔晶圓和集成電路鍵合

煌盤，進行煤和有機物的灰化，激活聚合物、金屬和陶瓷表面官能團，獲得表面親水性，提高鍵合強度和可印刷性，促

進醫(yī)療器械生物相容性。

小型真空等離子清洗機產品優(yōu)勢:

●小型等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。

·直觀的觸摸屏用戶界面，可儲存多條用戶程序，全自動運行

·8K 鏡面不銹鋼腔體，**密封性

·可支持 13.56 MHz 射頻發(fā)生器，自動阻抗匹配調諧

·支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體

·對清洗樣品，沒有任何材質、外觀尺寸等要求，

等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理，

·高效的特制電極，是產生均勻等離子體的保證。

·特制電極和托盤結構，可保證樣品可得到全面有效的清洗。

。由干功耗低日無重特殊外理氣體，該裝署是提高表面潤濕性和附著力的非堂經濟高效的解決方案