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NE-PE150L真空等離子清洗機(jī)包括反應(yīng)室、射頻電源及匹配系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、工藝氣路系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)、電氣控制

系統(tǒng)等，等離子清洗工藝是直接把高能等離子體流施加到被清洗表面以達(dá)到等離子體清洗的目的。選擇不同的氣體種類

和配比，可以滿足很多等離子體清洗的要求。例如:用氧氣等離子體可以使有機(jī)物沉積被氧化掉;用惰性的氬氣等離子

體可以使顆粒污染被機(jī)械地沖洗掉，用氫氣等離子體可以消除金屬表面氧化，等等。應(yīng)用等離子體清洗金屬、陶瓷和塑

料表面的有機(jī)物，大大增強(qiáng)了這些材料表面的附著力和鍵合力。