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ALD原子層沉積設備
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上海福宜真空設備有限公司
上海
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福宜真空
723
公司開發的主要設備有:工模具硬質涂層鍍膜設備、磁控濺射鍍膜設備、多弧離子鍍膜設備、磁控濺射復合多弧離子鍍鍍膜設備、連續線式磁控濺射鍍膜生產線、光學鍍膜設備、CVD和PECVD化學氣相沉積設備、ICP刻蝕設備和ALD原子層沉積等系列真空鍍膜和表面處理設備。
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