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高精度程控勻膠機(jī)

SYSC-300系列

直接聯(lián)系

上海三研科技有限公司.

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

型號(hào):

SYSC-300系列

關(guān)注度:

4464

范圍(量程或細(xì)度):

--

創(chuàng)新點(diǎn):

具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、極好的加速度、主動(dòng)式速度調(diào)控、勻膠過程多段程序控制等特點(diǎn)。

應(yīng)用行業(yè):

可用于微電子、半導(dǎo)體、光電器件、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的各類高精密納米功能涂層的制備。

典型用戶:

可用于微電子、半導(dǎo)體、光電器件、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的各類高精密納米功能涂層的制備。

產(chǎn)品介紹

SYSC-300系列高精度程控勻膠機(jī)Spin Coater),是**一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備。 精密高速伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),轉(zhuǎn)速達(dá)10000rpm,轉(zhuǎn)速精準(zhǔn)。 **旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)50000rpm/s(有負(fù)載的真實(shí)加速度)。 全自動(dòng)程序控制。 超強(qiáng)耐腐蝕,304不銹鋼機(jī)身,腔體采用NPP材料,旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用PEEK材料。 安全保護(hù)功能,真空吸片檢測,腔體關(guān)閉檢測。 主要用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的各類高精密納米功能涂層的制備。 


一.   產(chǎn)品應(yīng)用  

SYSC-300系列高精度程控旋涂儀(Spin Coater),其**轉(zhuǎn)速可達(dá)10000rpm,**旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)50000rpm/s(有負(fù)載條件下的真實(shí)加速度)。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、極好的加速度、主動(dòng)式速度調(diào)控、勻膠過程多段程序控制等特點(diǎn)。可用于微電子、半導(dǎo)體、光電器件、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的各類高精密納米功能涂層的制備。  

二.   產(chǎn)品特點(diǎn)  

1.     旋轉(zhuǎn)電機(jī)采用專為勻膠機(jī)設(shè)計(jì)的精密高速伺服電機(jī),具有高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性。  

2.     優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能,**旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)50000rpm/s(有負(fù)載的真實(shí)加速度)  

3.     兩項(xiàng)安全互鎖功能  

 (1) 勻膠腔體具有開啟、關(guān)閉的檢測功能,確保腔體關(guān)閉后才可啟動(dòng),防止勻膠過程中飛片造成人身傷害;  

 (2) 真空吸片具有真空檢測功能,若發(fā)生真空泄漏,基片無法吸附牢固,則立即停止運(yùn)行。  

4.     機(jī)身外殼采用SUS304不銹鋼制作,防腐蝕、不生銹、易清潔。  

5.     勻膠腔體采用德國勞士領(lǐng)NPP材料,經(jīng)CNC一體加工成型。接儲(chǔ)脫離基片的膠液,避免進(jìn)入真空管路和設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。  

6.     旋轉(zhuǎn)吸片臺(tái)采用德國勞士領(lǐng)PEEK材料,經(jīng)CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形  

7.     勻膠過程全自動(dòng)分段程序控制。整個(gè)勻膠過程*多可分十段進(jìn)行,每段的加速時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時(shí)間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)。可儲(chǔ)存50組工藝程序,隨時(shí)調(diào)用。  

8.     7英寸液晶觸摸屏使控制更方便;運(yùn)行狀態(tài)及各項(xiàng)參數(shù)實(shí)時(shí)顯示,更直觀了解勻膠進(jìn)程;  

9.     真空泵的開啟與關(guān)閉均為自動(dòng)程序控制,無需手動(dòng)操作。  

10.   旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟,預(yù)吸片時(shí)間*多為99s,確保基片牢固吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái)后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟,解吸片時(shí)間*多為99s,確保安全停止后再切斷真空,釋放基片,防止涂膜后的基片滑落,對(duì)膜層造成損傷。  

11.   標(biāo)配無油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái),防止飛片。  

三.   技術(shù)參數(shù)  

設(shè)備型號(hào)  

 技術(shù)參數(shù)  

SYSC-300A  

SYSC-300B  

SYSC-300C  

可鍍膜基片尺寸  

?10~300mm  

?10~300mm  

?10~300mm  

旋轉(zhuǎn)速度  

10~6000rpm  

10~8000rpm  

1010000rpm  

轉(zhuǎn)速分辨率  

1rpm  

1rpm  

1rpm  

速度精度性  

0.02%  

0.02%  

0.02%  

旋涂加速度*  

030000rpm/s  

0~40000rpm/s  

0~50000rpm/s  

每段加速時(shí)間  

999.9s  

999.9s  

999.9s  

每段旋涂時(shí)間  

9999.9s  

9999.9s  

9999.9s  

時(shí)間分辨率  

0.1s  

0.1s  

0.1s  

預(yù)吸片時(shí)間  

99s  

99s  

99s  

解吸片時(shí)間  

99s  

99s  

99s  

* **旋涂加速度為有負(fù)載條件下(使用≤?100mm基片)的真實(shí)加速度

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SYSC-300系列

上海三研科技有限公司.

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