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產品名稱：晶圓襯底磨拋清洗液 

產品型號：JTS-SY01(FL) （PH值為堿性） 

包裝規格： 1KG/瓶裝 5KG/壺裝 10KG/桶裝 25KG/桶裝

應用特征： 本產品適用于晶圓襯底及光電晶體基材的 研磨拋光后制程 。主要清洗客戶產品表面 磨拋后的研磨液和拋光粉等臟污積留，有 效去除CMP制程在晶體表面殘留的硅溶膠 化合物，經超純水漂洗過后產品表面潔凈 度特別高，接近RCA濕法清洗標準。屬于 集特斯聯合研發的特殊體系配方，專注于 減少CMP制程工藝中的硅溶膠化合物殘留。 有良好的污垢分散去除能力，本產品清潔 效果優異，對晶體材料無腐蝕的同時也降 低員工在生產操作的風險