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儀器簡介：

VEGA 3 XMU/XMH是TESCAN推出的鎢燈絲掃描電子顯微鏡系列中樣品室**的一款電鏡,以高品質,完全計算機控制,用戶友好界面為基礎的系列產品.具有使用方便,產品質量穩定,分析高效為特點的**設計.
 1.獨有的四透鏡大視野光學（Wide Field Optics™）和Tescan特有可優化電子束光闌的中間鏡設計，提供了多種工作模式和顯示模式。
 2.成像速度快。
 3.鏡筒內沒有需要機械對中結構，取而代之的是容易操作和保養的固定光闌。
 4.以電磁的方式改變有效物鏡光闌——中間鏡起到“光闌轉換器”的作用。
 5.高吞吐量/自動取域。例：自動顆粒定點分析。
 6.出眾的電動載臺設計，支持能譜儀（EDX），波譜儀（WDX），背散射電子衍射儀（EBSD）。
 7.由于使用了強力的渦淪分子泵和機械真空泵，因而可以快速簡單得到干凈的真空樣品室。
 8.完善的顯微鏡自動設置包括電子光路設置和對中。
 9.網絡操作和內置的遠程監控/診斷是Tescan的標準配備。
 10.強大的自動功能:全自動真空控制,燈絲自動加熱,自動電子槍校正 (Auto gun alignment),改變加速電壓，自動補償偏壓,改變電子束大小，
 自動調整電子束大小,依據訊號/噪聲比自動調整掃描速度,自動對比/亮度調整,自動聚焦,自動調整像差等。
 11.完全自動的軟件安裝.
 12.強大的圖象處理功能,使用專業的電鏡控制軟件,圖像抓取,加工,處理和分析;
 I.影像顯示尺寸
 1)實時圖像顯示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024等3種方式。
 2)儲存圖像顯示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096，8192x8192等9種方式。
 3)同時可選擇正方形、4x3長方形、2x1長方形等3種尺寸。
 4)可同時顯示任意張實時影像或儲存影像。
 II.掃描速度：從20ns/圖素到10ms/圖素，可階級式或連續式的調整。
 III.聚焦窗口：可連續式調整聚焦窗口的大小和位置。
 IV.動態聚焦,點&線掃描
 V. 圖像處理(Image processing)：提供銳化(Sharpening)