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VEGA系列的設計適合各種SEM應用及當今研究和工業的需求。經過10多年的不斷發展，TESCAN已經成功開發、研制和制造了VEGA的第三代 產品。新一代的VEGA給用戶帶了**的技術優勢，包括改進的高性能電子設備使成像速度更快，包含了靜態和動態圖像扭曲補償技術的超快掃描系統，內置的編 程軟件等，使VEGA系列產品保持著非常高的性價比。

LaB6發射源

TESCAN能提供介于肖特基與鎢燈絲性能之間的LaB6（六硼化鑭）作為電子發射源。LaB6的優勢包括：穩定的電子發射源（與場發射電子源相比），在 陰極較低溫度下可獲取比較高的束流（與鎢燈絲電子源相比）。這就意味著在整個范圍的加速電壓和很長的使用壽命中，LaB6可以保持很高的亮度和分辨率。基 于其非常高的發射電流，LaB6是需要大電子束流應用領域的正確選擇。

現代電子光路

• 獨特的四透鏡大視野光路設計提供各種各樣的工作與顯示模式

• 以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同"光闌轉換器"

• 透鏡與線圈的優質材料使成象率達到20ns/像素，并減少了動態扭曲效應

• 結合了完善的電子光學設計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing?），可模擬和優化電子束

• 鏡筒設計提供了全自動電子光路設置，鏡筒不含機械對中結構

• 3維電子束技術提供了實時立體圖像

檢修方便

只要很短的停機檢查后就能保持電鏡長時間處于**狀態。每個細節設計得很仔細，使得儀器的效率**化，操作*簡化。

自動操作

通過一次點擊就可以進行自動燈絲加熱和電子槍對中。眾多的自動程序減少了用戶的操作時間，并提供了操作的自動導航與自動化分析。通過內置腳本語言 （Python）用戶可以進入軟件大多數功能，包括電鏡控制、樣品臺導航、圖像采集、處理與分析。通過腳本語言用戶也可以自定義軟件的自動操作。

用戶界面友好的軟件

• 用戶界面有各種語言版本

• 多用戶界面（包括了EasySEMTM模式）不同賬戶的權利使常規分析過程更快

• 圖像文件管理與報告生成

• 內置的自動系統檢查

• 通過局域網或互聯網可實現電鏡遠程診斷

• 模塊化軟件體系結構

• 標準的軟件模塊包括了：測量工具、圖像處理、對象區域等

• 選配軟件包括了：顆粒度分析、三維表面重構等