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半導體材料體積電阻率測定儀

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北京智德創新儀器設備有限公司

北京

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508

產品介紹

ATI-1000S型高溫半導體材料體積電阻率測定儀/半導體電阻率測量儀主要用于半導體材料導電性能的評估和測試,該系統采用四線電阻法測量原理進行設計開發,可以在高溫、真空氣氛的條件下測量半導體材料電阻和電阻率,可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時間變化的曲線。半導體材料體積電阻率測定儀/半導體電阻率測量儀目前主要針對圓片、方塊、長條等測試樣品進行測試,可以廣泛用于半導體材料硅(si)、鍺(ge),化合物半導體材料砷化鎵(GaAs)、銻化銦(InSb),三元化合物半導體GaAsAl、GaAsP,固溶體半導體,如Ge-Si、GaAs-GaP等的塊體材料的電阻率測量等材料的電阻率測量。

技術參數:

溫度范圍:RT-1000℃

升溫斜率:0-10℃/min (典型值:3℃/min)

控溫精度:±0.5℃

電阻測量范圍:0.1mΩ~1MΩ

電阻率測量范圍:100nΩ..cm~100KΩ .cm

測量環境:惰性氣氛、還原氣氛、真空氣氛

測量方法:四線電阻法

測試通道:單通道

樣品尺寸:10mmx10mmX20mm或φ<20mm ,d<5mm

電極材料:上電極半圓型鉑金電極,下電極平板型鉑金電極

絕緣材料:99氧化鋁陶瓷

數據存儲格式:TXT文本格式

數據傳輸:USB

符合標準:ASTM

供電:220V±10%,50Hz

工作溫度:5℃ 至 + 40 ℃;

存儲溫度:–40 ℃ 至 +65 ℃

工作濕度:+40 ℃ 時,相對濕度**達 95%(無冷凝)

設備尺寸:400x450x580mm

重量:38kg

產品特點:

■ 高溫爐膛、測量夾具、測量軟件等集成于一體,讓操作變得更加簡單,測量精度則會更高;

■ 觸摸屏控制和顯示,同時支持外接鍵盤和鼠標操作,滿足多樣化需求;

■ ATI電阻率測量軟件兼容世界主流儀表Keithley 2400,擴展應用更加方便;

■ 可以實現常溫、高溫、真空、氣氛條件下測量半導體材料的電學性能;

■ 專業的測量軟件,可以測量半導體材料的方塊電阻和電阻率;

■ 進口纖維一體開模鑄造的高溫爐膛,**耐溫1100℃;

■ 內膽采用進口金屬材料,耐高溫、抗氧化,可實現常溫、高溫、真空、流動氣氛等多種試驗環境下的電學測量;

■ 為了減小高溫下導線受電爐絲的交流信號干擾而建立了金屬屏蔽罩,有效減小外部信號的干擾和增加測試頻率帶寬;

■ 采用九點控溫法,以傳感器為中心點,其半徑20mm的圓環上均勻鋪設八個溫度采集點,九個溫度點范圍內采集到的溫度**溫差為1℃,此范圍為樣品測試的**溫區;

■ 彈簧夾具設計,彈簧的可壓縮性既不損傷樣品又能實現樣品的良好接觸;

■ 上電極半球狀+下電極平板狀結構設計,可以精確定位測量被測樣品某一點;

■ 控溫和測溫采用同一個傳感器,保證樣品每次采集的溫度都是樣品實際溫度;

■ 采用九點控溫法,九個溫度點范圍內采集到的溫度**溫差為1℃,此范圍為樣品測試的**溫區;

■ 電極支撐和屏蔽采用進口合金材質,利用葉片設計可以很好解決因平臺帶來的熱弛豫影響;

■ 可以測量半導體材料的方塊電阻、電阻率,實現常溫、變溫、恒溫條件的I-V、R-T、R-t等測量功能;

■ 操作簡單,功能強大的測量軟件,可以通過輸入樣品的面積和厚度,軟件自動計算樣品的電阻率ρv;

■ 智能化控制,可自動調節施加在樣品的測試電壓,以防樣品擊穿;

■ 采用**的RAM嵌入式開發平臺,可以進行在線升級、遠程協助及故障診斷;

■ 測量軟件終身免費設計;

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半導體材料體積電阻率測定儀

北京智德創新儀器設備有限公司

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半導體材料體積電阻率測定儀 - 508
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