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1）真空腔 

2）抽氣系統 

a) OSAKA FR060D

b) BROOKS CTI OB400 & 9600 compressor/Leybold DIP8000

c) Flapper Valve

d) Inficon vacuum gauge

3）電子槍 JEOL BS-60050EBS

4）高精度鍍膜基板溫度控制雙加熱系統,**溫度:350℃

5）高精度控制工件高速旋轉

6）6片石英芯片晶體膜厚控制儀

7）鍍膜基板自動翻面功能 

8）同點實時監控光學膜厚儀