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TFC-6500B，微波等離子體化學氣相沉積（MPCVD）設備是***的 CVD 系統。針對用戶的具體要求設計和研制的一臺多用途、高穩定中等壓強微 波等離子體（MPCVD）綜合設備。

產品特性

* 高純高真空不銹鋼腔體(無硅污染 )

★ 可95%功率高效穩定運行

★可單次生產7*7 mm單晶毛坯21粒

★ 水冷卻腔體(無風冷噪音)

★ 可均勻生產2 inc多晶

★ 產品凈度等級可達VVS級

*生長機臺可自動調節范圍達15MM