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弗萊貝格XRD-SDCOM-小晶體樣品臺式X射線單晶定向儀

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束蘊儀器(上海)有限公司

德國

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684

產品介紹

技術特點▼

l 能夠測量小至1mm的晶體到或更大的樣品

l 各種樣品架及輸送夾具,用于線鋸、拋光等

l 側晶方向標記選項

l 無水冷卻

l 精度可達0.01°(視晶體質量而定)

l 確定單晶的完全晶格取向

l 使用Omega掃描方法的超高速晶體定位測量

l 氣冷式X射線管,無需水冷

l 適合于研究和生產質量控制

l 手動操作(沒有自動化選項)

晶體的方向是由反射位置決定的

可測量材料的例子▼

? 立方/任意未知方向:Si, Ge, GaAs, GaP, InP

? 立方/特殊取向:Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3

? 正方:MgF2, TiO2, SrLaAlO4

? 六方/三角:SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英),Al2O3(藍寶石),GaPO4, La3Ga5SiO14

? 斜方晶系:Mg2SiO4 NdGaO3

? 可根據客戶的要求進一步選料

適合多種材料

SDCOM的應用▼

平面方向的標記和測量

在晶圓片的注入和光刻過程中,需要平面或凹槽作為定位標記。切割過程中,晶片必須正確地對準晶圓片上易于切割的晶格面。因此,檢查平面或缺口的位置至關重要

為了確定平面或缺口的位置,就需要測量平面內的部件。由于Omega掃描法可以在一次測量中確定完整的晶體方位基于此便可以直接識別在平面方向或檢查方向的單位或缺口。

DDCOM通過旋轉轉盤,可以將任何平面方向轉換成用戶指定的特定位置。在必須定義平面方向的情況下,可以大大簡化將標記應用到特定平面方向的過程

產品咨詢

弗萊貝格XRD-SDCOM-小晶體樣品臺式X射線單晶定向儀

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