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直流離子濺射儀

直流離子濺射儀

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北京艾博智業離子技術有限公司

北京

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

艾博智業

型號:

直流離子濺射儀

關注度:

249

產品介紹

技術參數:

輸入電壓

AC220V±10%,50Hz

工作電壓

DC2400V

**功率(主機與機械泵)

500W

工作原理
直流濺射

可選靶材

金、鉑、銀、銅、鋁、鉛等常用金屬

真空泵

兩級直聯旋片式真空泵 1L/s

真空腔

φ128×130mm

樣品杯

φ90×1 / φ25×4 / φ15×6

整機尺寸(長×寬×高)

424×271×255(mm)

重量(主機)

11 kg

工作環境

溫度 5~40℃,濕度<60%

存儲環境

溫度-10~60℃,濕度<80%

工作氣體

Air / Ar

保護功能

過流、真空雙保護


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直流離子濺射儀

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