粉體行業在線展覽
直流離子濺射儀
面議
艾博智業
直流離子濺射儀
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技術參數:
輸入電壓 | AC220V±10%,50Hz |
工作電壓 | DC2400V |
**功率(主機與機械泵) | 500W |
工作原理 | 直流濺射 |
可選靶材 | 金、鉑、銀、銅、鋁、鉛等常用金屬 |
真空泵 | 兩級直聯旋片式真空泵 1L/s |
真空腔 | φ128×130mm |
樣品杯 | φ90×1 / φ25×4 / φ15×6 |
整機尺寸(長×寬×高) | 424×271×255(mm) |
重量(主機) | 11 kg |
工作環境 | 溫度 5~40℃,濕度<60% |
存儲環境 | 溫度-10~60℃,濕度<80% |
工作氣體 | Air / Ar |
保護功能 | 過流、真空雙保護 |