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1、技術指標

環境溫度：5~32℃

空氣相對濕度：≤85%

工作電壓：AC220V±10%  50/60HZ

系統整體極限真空度：5.0×10^-5Pa

實驗真空度：5.0×10^-3Pa

連接管路：采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優于1.0×10^-9Pa.m³/s

2、配置說明  

2.1、機械泵：

抽氣速率：10m3/H

容油量：1.1L

電機功率：400W

極限壓強：6×10^-2Pa

2.2、分子泵：

抽氣速率：100L/S

極限壓強：6×10^-6Pa

啟動時間：＜2min

額定轉速：4300轉/分

冷卻方式：環境溫度5-32℃時，風冷；5-40℃時看，水冷。

2.3、分子泵控制器：

電壓：220V±22V

啟動電流：≤7A

輸入頻率：47HZ—63HZ

**輸出功率：≤150W

**加速電壓：≤40V

加速時間：≤3min

頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ

             低速430HZ±5HZ

2.4、復合真空計：

測量路數：2路（電阻規、電離規各1路）

工作模式：手動/自動（可切換）

電阻單元參數

規管型號：ZJ-52T電阻規

測量范圍：1.0×10⁵Pa~1.0×10^-1Pa

有效范圍：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

控制范圍：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

電離單元參數

規管型號：ZJ-27電離規

可測范圍：5.0Pa~1.0×10^-5Pa

有效范圍：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

控制范圍：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

規管除氣方式：焦耳去氣

控制方式：點動或區域控制/帶掉電記憶

控制精度：±1%

采樣時間：1S

電源：220V±10% 50HZ

功耗：50W

使用環境溫度：0℃~45℃

濕度：≤85%