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半自動/全自動探針臺

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上海載德半導體技術有限公司

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技術規格:

1. 支持**晶圓尺寸:300mm

2. X-Y軸移動重復性:+/-1.5mm

3. X-Y軸移動分辨率:5 mm

4. X-Y軸移動速率:50mm/s

5. Z軸移動重復性:+/-1mm,移動分辨率:1mm

6. Z軸移動速率:10mm/s

7. 顯微鏡分辨率:4mm

8. 可測試溫度:RT~200

9. 邁銳軟件,全自動控制平臺移動。

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