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RTP-100-RP快速退火爐(中溫/低價位)

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上海載德半導體技術有限公司

德國

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710

產品介紹

快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設備。

RSO-200快速退火爐可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環境下使用，適用于樣品尺寸大、但是退火溫度不太高的樣品。

儀器特點：

- **工藝溫度：650攝氏度；

- 加熱區域：200mm x 170mm；

- 高性價比；

參考用戶：

中電13所等。

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RTP-100-RP快速退火爐(中溫/低價位)

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