粉體行業在線展覽
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沈陽科晶自動化設備有限公司
遼寧
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OTF-1200X-RTP-II近距離蒸發鍍膜（CSS）爐是一款快速蒸發管式爐，專門用于PVD或CSS法制作薄膜；其爐管外徑為11″，爐管內載樣盤可放置3″ 的圓形或2″×2″的方形基片；加熱元件為兩組紅外燈管，分別安裝在腔體頂端和底部，升溫速率高達20℃/s ；溫控系統采用PID30段程序化控制，控溫精度為±1℃，并且儀器面板上帶有RS485接口，若儀表內配有控溫軟件，就可將升溫程序和曲線導出。
主要特點
1、為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機構上。
2、緊貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片（Φ76mm×0.5mm），使得樣品基片上的溫度更加均勻。
3、3″的石墨坩堝可放于底部加熱元件上，用于盛放蒸發料。
4、真空法蘭通過兩個硅膠O型圈進行密封，通過機械泵其腔內真空度可達10-2torr，通過分子泵真空度可達10-5torr。
5、兩個真空法蘭都可以通過手動操作進行上下移動。
6、一個數字式真空顯示計安裝在法蘭頂部，可以精確測量腔內真空度。
技術參數
1、電源：單相AC208-240V（需20A的空氣開關）
2、真空腔體：高純石英管，外徑280mm，內徑275mm，高229mm
3、加熱元件：兩組IR紅外燈管，額定功率800W，總功率1600W
4、熱電偶：S型熱電偶2個，分別安裝于上下法蘭上
5、工作溫度：兩個加熱區域單獨工作的**溫度≤650℃，兩加熱區域**溫差≤350℃
6、加熱速率：>8℃/s
7、冷卻速率：>10℃/s（600℃-100℃）
8、真空法蘭：316不銹鋼制作，配有1個KF-25接口、2個1/4″軟管接頭
9、真空計：數字式真空顯示計
可選配件
1、PC控溫軟件
2、兩路混氣系統
3、多路浮子混氣系統
4、多路質子混氣系統
5、真空泵
6、水冷機
