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產(chǎn)品名稱(chēng)

GSL-1100X-SPC-16C濺射蒸鍍膜儀

產(chǎn)品型號(hào)

GSL-1100X-SPC-16C

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）

4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通風(fēng)裝置：不需要

主要特點(diǎn)

配備了熱蒸發(fā)附件，可以蒸發(fā)碳絲或者其他材料，如鋁、不銹鋼等材料，同時(shí)具有濺射和蒸發(fā)的功能。因此擴(kuò)展了應(yīng)用范圍，特別適用于掃描電鏡樣品表面噴金或蒸金、蒸碳使用。

技術(shù)參數(shù)

1、靶：?50mm

2、樣品臺(tái)：?50mm

3、真空室：?160mm×110mm

4、真空度：4×10^-1mbar-2×10^-2mbar

5、極限電流：50mA

6、可設(shè)定極限時(shí)間：9999s

7、極限電壓：1600V DC可調(diào)

8、真空泵：4L兩級(jí)機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵，極限真空2×10^-2mbar（也可選配國(guó)產(chǎn)分子泵）

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：L400mm x W310mm x H390mm重量：50 kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

金靶材

1個(gè)

2

碳繩

1根

3

鎢絲籃

2個(gè)

4

熱蒸發(fā)附件

1套

5

進(jìn)氣針閥

1個(gè)

6

保險(xiǎn)絲

2個(gè)

可選配件

金、銦、銀、白金等各種靶材