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產(chǎn)品型號(hào)

GSL-1100X-SPC-12等離子薄膜濺射儀

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上）清洗，需自備氬氣氣瓶

4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、可以調(diào)節(jié)電流大小，可設(shè)置濺射時(shí)間。

2、已經(jīng)過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、輸入電源：208V-240V 50Hz/60Hz

2、樣品臺(tái)：?60mm，高度可調(diào)節(jié)

3、石英腔體：?100mm×130mm

4、進(jìn)氣口：內(nèi)部裝有閥門，可以向腔體內(nèi)通入各種氣體

5、靶材：純度為4N的金靶，?57mm×0.12mm

產(chǎn)品規(guī)格

　尺寸：480mm×320mm×150mm；重量：20kg

可選配件

1、Au（?57mm×0.12mm，4N）

2、Pt（?57mm×0.12mm，4N）

3、Ag（?57mm×0.5mm，4N）