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產(chǎn)品型號(hào)

2英寸高真空磁控濺射頭HVMSS-SPC-2

主要特點(diǎn)

1、采用高質(zhì)量的不銹鋼和陶瓷材料制作。

2、采用電磁場(chǎng)的有元計(jì)算法來(lái)設(shè)計(jì)永磁體，以得到較高的磁場(chǎng)強(qiáng)度和均勻分布。

3、磁體表面涂有保護(hù)層，以防止冷卻水的腐蝕，延長(zhǎng)其使用壽命。

4、標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配。

5、安裝采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭，便于操作。

6、靶材更換較為簡(jiǎn)單，無(wú)需調(diào)整濺射頭的高度。

技術(shù)參數(shù)

1、陽(yáng)極護(hù)罩直徑：?3.5"

2、所用靶材：直徑2"（50.8mm），非磁性靶**厚度1/4"，磁性靶**厚度1/16"

3、磁鐵：NdFeB稀土永磁體

4、靶材利用率：30%

5、所需功率：DC**1000W，RF**500W

6、濺射電流：**3A

7、濺射電壓：100V-1000V

8、濺射時(shí)腔體真空度：5mtorr-100mtorr

9、濺射均勻性曲線：

10、水冷卻：水管外徑0.25"，流速0.8GPM，進(jìn)水溫度<20℃

產(chǎn)品規(guī)格

可選配件

1、循環(huán)水冷機(jī)，流量為16L/min，水箱容積為6L。

2、同時(shí)購(gòu)買(mǎi)300W射頻發(fā)射器和2"磁控濺射頭時(shí)，本司贈(zèng)送1個(gè)高真空快速接頭。接頭內(nèi)徑為0.75"，可將濺射

　頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1"，真空腔體的壁厚不得大于1"。