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沈陽科晶自動化設備有限公司
遼寧
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OTF-1200X-5S是一款CE認證的小型開啟式管式爐，其**工作溫度可以達到1000℃。爐管Φ130mm的高純石英管。設備配有一對不銹鋼密封法蘭，可在真空或氣氛保護環境下對樣品進行熱處理。對于控溫系統，可設置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐*多可對4英寸的晶片進行退火。
產品型號 | OTF-1200X-5S小型開啟式管式爐 |
主要特點 | 爐體結構 雙層殼體結構 表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率，保證溫度均勻性，爐膛采用高純氧化鋁纖維作材料，此款管式爐也可做為立式爐使用（點擊圖片查看詳細資料） |
技術參數 | 1.功率：3KW 2.電壓：220VAC 50/60Hz 3.**工作溫度：1000℃（＜1小時），連續工作溫度：900℃ 4.**加熱速率：20℃/min 5.加熱區 加熱區長度：300mm 恒溫區長度： 100 mm (+/-1oC ) 140 mm (+/-2oC ) 6.溫控系統 采用PID方式調節溫度，可設置30段升降溫程序 帶有超溫和斷偶保護 可選購MTS02-B控溫模塊，可用電腦設置和顯示溫度程序 7.歐陸儀表（可選） 可選購歐陸3504溫控儀表，可與LABVIEW軟件比配 8.控溫精度：+/- 1°C: 9.爐管：石英管，尺寸：130mm O.D x 120mm I.D x 640mmL 配有2個氧化鋁管堵，使用設備時應放在爐管兩端，保證恒溫區和法蘭密封性 可選購石英管堵，提高爐管內的潔凈度和幫助獲得高真空 9.真空密封法蘭 配有一對不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封 右端法蘭為KF25接口，用于連接真空泵 左端法蘭上安裝有機械壓力表，接口為1/4英寸卡套接頭，用于連接氣瓶 真空度：10-2torr (采用機械泵) 可選：5英寸的水冷鉸鏈法蘭，并帶有支撐架 水冷法蘭通入冷卻水后，設備**溫度可以達到1100℃（＜1小時） 10.真空壓力表 安裝有一機械壓力表，測量范圍為-0.1～0.15MPa 可選購數顯防腐真空計當氣壓在10mbar以上時，不需因測量氣體種類不同而進行系數轉換，測量范圍為3.8x10-5 -1125 Torr 11.鎧裝熱電偶（可選） 可選購鎧裝K型熱電偶，通過法蘭的鎧裝孔伸入到爐管內部，測量樣品的實際溫度 可選購一個法蘭支撐架，防止爐管轉動 12.尺寸: 爐蓋打開關閉時: 430mm(L) × 480mm(W) × 480mm(H) 爐蓋打開時 : 660mm(L) × 480mm(W) × 720mm(H) · 13.凈重:48 Kg |
質保 | 一年保修，終身維護 |
質量認證 | CE認證 所有電器元件（>24V）都通過UL?/?MET?/?CSA認證 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證 |
應用注意事項 | 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加精確安全 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等） |
