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產品型號

1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統OTF-1200X-4-C4LV

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：設備配有自循環冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）

2、電：AC380V 50Hz（63A空氣開關），必須有良好接地

3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶?6mm雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、采用高純氧化鋁保溫材料，保證了極好的溫度均勻性。

2、內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高反射率和保護爐膛潔凈度。

3、采用PID控制器，可以設置30段升降溫程序。

4、金屬箔纏繞在內管的外表面上發生CVD反應。

5、采用雙管真空密封法蘭，允許反應氣體通過兩管之間（10mm間隙）。

6、冷卻氣體直接通入內管。

7、配有帶KF25快接和波紋管的高速機械泵。

8、爐底部裝有滑軌，爐體可從一端滑向另一端，從而實現快速升溫和降溫。為了獲得較快的加熱速度，可以先將爐體預熱，然后滑至放置樣品處；為了獲得較快的冷卻速度，可將爐體滑至另一端，同時將冷氣通入樣品所在處。

9、密封法蘭系統采用不銹鋼制作。

10、已通過CE認證。

技術參數

管式爐

1、電源：單相AC208V-240V 50Hz/60Hz 2.5KW（20A保險絲）

2、石英管：外管外徑?100mm，內徑?96mm，長1400mm

內管外徑?80mm，內徑?75mm，長1400mm

3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲（表面涂有氧化鋯）

4、加熱區域：440mm

5、恒溫區域：120mm（±1℃在400℃-1100℃）

6、工作溫度：**1100℃，連續工作1000℃

7、**升降溫速率：20℃/min

8、控溫精度：±1℃

9、真空度：10^-2torr（機械泵），10^-5torr（分子泵）

質量流量混氣系統

1、質子流量計：4路精密質子流量計，數字顯示，氣體流量自動控制

MFC1范圍0-100sccm，MFC2范圍0-200sccm，MFC3范圍0-200sccm，MFC4范圍0-500sccm

2、流量精度：0.2%

3、氣路：4路（每個氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制）

4、進出氣口：1/4"卡套

5、混氣罐：1個

產品規格

尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm，移動架600mm×600mm×597mm

重量：135kg

可選配件

1、分子泵

2、雙溫區管式爐

3、銅箔（生長石墨烯150mm×150mm×25μm）