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小型兩通道供氣系統CGM-2F是一種緊湊型雙通道微量氣體混合供氣系統,輸入的兩種不同氣體通過調節壓力和流量,即可輸出一種較準確的混合性氣體,可用以小型管式爐、手套箱、等離子清洗機、小型PECVD系統。
產品型號 | 小型兩通道供氣系統CGM-2F |
主要特點 | 1、采用SS304精密不銹鋼針閥。 2、采用1/4″管徑不銹鋼或聚四氟乙烯管。 3、無需外接電源。 |
技術參數 | 1、浮子流量計:10-100ml/min,兩個 2、壓力表:-0.1-1.0MPa(0.01MPa/grid),三個 |
產品規格 | 尺寸:340mm×300mm×180mm;重量:6.35kg |