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產(chǎn)品型號

GSL-LCD(控制面板為觸摸屏）

技術(shù)參數(shù)

功能

雙通道

三通道

四通道

五通道

質(zhì)子流量控制器

工作溫度：5~45oC

**壓力:3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線性: ±（0.5-1.5）%F.S.重復(fù)精度: ±0.2%F.S.

流量范圍:

一路:1~199 SCCM

二路:1~499 SCCM

注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度：5~45 oC

**壓力: 3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線性: ±（0.5-1.5）%F.S.

重復(fù)精度: ±0.2%F.S.

流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~499 SCCM

注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度: 5~45 oC

**壓力:3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線性: ±（0.5-1.5）%F.S.重復(fù)精度: ±0.2%F.S.

流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM

注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度: 5~45 oC

**壓力: 3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線性: ±（0.5-1.5）%F.S.

重復(fù)精度: ±0.2%F.S.

流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM

五-九路可按照客戶要求定制

產(chǎn)品規(guī)格

外形尺寸：600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

輸入電源

AC 220V/50Hz單相

功率

23W

PLC觸摸屏

各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一6"的觸摸屏上

RS485通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進(jìn)行遠(yuǎn)程控制

機(jī)械壓力表

有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

針閥

316不銹鋼

通氣管道

內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管

外部通氣管道為1/4”聚四氟管

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配件

316不銹鋼針閥

Φ1/4”不銹鋼管