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原位氣氛反應納流控安全管理系統

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廈門超新芯科技有限公司

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原位氣氛反應納流控安全管理系統實現納升級別流體引入,高效精確控制氣體池中的流體的流速流量,可控流速低于10nL/s,目前市面上僅有實現芯片內觀測區域流體流入精確定量,及高效流體實時控制。獨特納流體精確控制技術使得引入流體在極其微量級別,在芯片窗體薄膜破裂的情況下,不會有大量氣體滲漏,電鏡的安全得以保證,實驗不受影響可持續進行。

技術標準:

1)移動工作站尺寸:L*W*H=600*600*2160,柜臺高度780;納流控設備尺寸:L*W*H=344*344*194(單位:mm),以實物尺寸為準。

2)PTFE或者PEEK涂層氣路通道,氣路及納米反應室總氣體量為百微升級,承受壓力高于5.5Bar

3)具備程序化控制流速及自清潔功能,可控流速低于10nL/s

4)能和原位樣品桿相連接提供靜態封閉工作模式。

5)芯片氣體封裝:采用鍵合內封以及環氧樹脂外封雙保險可適應電鏡超高真空全封裝設計保證揮發、滲漏不影響電鏡安全

6) 芯片與循環流道間采用樹脂封裝連接方式,非壓力密封,無滲漏風險

7)防爆安全閥:防止窗體破裂氣體滲漏時,造成電鏡損壞。

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原位氣氛反應納流控安全管理系統

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