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光學系統上的創新與突破-平行化曝光制程技術制版系統
VPG +大尺寸曝光系統適合用于先進封裝,半導體,顯示器,彩色濾光片,LED和觸摸屏等相關掩膜版制作的應用。
VPG +系統支持所有工業等級數據化格式,并提供Mura優化功能,呈現**的CD均勻性和分辨率。
VPG + 1400是我們大的系統,特別針對顯示器領域和FPD的應用,例如TFT數組和彩色濾光片以及ITO。
VPG + 1400具有高精度的設備架構,分辨率低至1.2 nm的差分干涉儀及先進的Mura校正功能。
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Stella International
Stella International攜手光刻技術**者-海德堡儀器公司,共同為客戶帶來綜合應用效能,同時建立緊密的合作伙伴關系。
為了服務客戶更廣泛多元的應用領域,Stella International于 2016年在蘇州成立海德堡儀器演示中心,以海德堡原廠伙伴技術支援,提供客戶技術交流平臺以及各式前段打樣的基礎研究,這些年來已服務許多的大學,研究院所與企業前期研發單位。
總代理 品牌介紹
德國海德堡 高精密無掩膜激光直寫設備
HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM
德國海德堡設備(Heidelberg Instruments),創始于1984年,在激光直寫設備的發展和設計上持續地改良、在各種應用上客制化。
應用范圍包括:微電腦和納米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相關領域。
銷售橫跨歐洲、美國、亞洲等超過50幾個國家、700個以上銷售據點,用于研發、快速原型制作和工業生產系統,是企業研究和發展的伙伴。