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美國 ALICAT 20 系列標準型氣體質量流量計，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳
感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有 NIST 可溯源校準證書。可用于快速精確地測量過程氣體的質量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合。

應用及案例 

●  大學/研究所           ●  泄漏檢測
●  環境監測                ●  真空行業及鍍膜
●  工業爐窯                ●  半  導  體
●  汽車制造                ●  光       伏
●  燃料電池                ●  計量校準
●  過程工藝氣體測量

產品特色 

●  數字化產品

●  多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

●  可選高精度：優于0.5%讀數

●  可測范圍廣，0.01~100%滿量程

●  響應時間快，優于10 ms

●  內置98種氣體

●  可現場標定混合氣體（*多5種成分），并存儲20種混合氣