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全自動膜厚測量儀EA-160

全自動膜厚測量儀EA-160

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深圳市宇宸科技有限公司

廣東

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

PTC

型號:

全自動膜厚測量儀EA-160

關注度:

169

產品介紹


EA-160是一款全自動非接觸式表面測量儀。利用光譜共焦原理,EA-160可用于膜厚線寬測量、微觀尺寸測量、高度差測量、平面度測量、共面度測量、粗糙度測量等,也可對透明半透明材質進行多層尺寸測量。高精度、高速測量,結合強大易用的軟件,EA-160膜厚測試儀被廣泛應用于微電子、半導體、5G、3D玻璃、新型醫療、精密工業制造等領域。


應用領域:

HTCC膜厚線寬測量、LTCC膜厚線寬測量、SOFC印刷厚度測試、厚膜電路測量、晶圓涂膠測量、MEMS測量、SENSOR測量、太陽能硅片測量、芯片形貌測量、透明材質測量、環氧樹脂測量、印刷圖形測量、激光鐳雕測量、Wafer槽深測量、斷差測量、Lens測量、油墨厚度測量、藍寶石厚度測量、曲面鏡片測量


特點:

高速度、高精度自動測量系統

**160mm*160mm 范圍測量

透明材質穿透測量

測量膜厚、線寬、平面度等

多程序自由切換,方便靈活


參數:

設備品名全自動非接觸膜厚測試儀
設備型號EA-160
XY測量行程160*160mm
Z軸可調行程50mm
掃描*小步距1um
**掃描速度30mm/s
陶瓷檢測重復精度±0.5μm
Z向分辨率1nm
橫線分辨率0.1um
光柵尺分辨率0.01um
量程1200um
測試方式可編程自動測量
MARK類型圓形、方形、十字、菱形、多邊形、不規則圖形
載物平臺微孔陶瓷真空吸附平臺
膜厚測試支持
線寬測試支持
粗糙度測試支持
透明材料自動測厚支持
孔深、刻槽深度測試支持
測量原理光譜共焦
CCD視覺500萬
紅外激光對準器標配
數據輸出Excel、CSV格式、JPG格式
數據分析CPK
數據統計平均值,**值,*小值,極差,標準差,CP,CPK,良率,總數
數據接口串口協議、網口協議
接口類型RS485、RS232、RJ45
數據存儲存儲位置任意指定
數據回測任意節點數據回測
MES信息化系統支持
設備日志具備
操作系統WIN10
校驗標準塊規標配
三角塊規標配
外觀尺寸950*650*500mm
電源AC220V±10%,50-60Hz
氣源壓縮空氣0.3~0.7Mpa或真空氣源
重量250KG
工控主機內存8G、固態硬盤480G、顯示器23.8“、分辨率1920*1080,高速千兆網口PCI*2


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全自動膜厚測量儀EA-160

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