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SKY® 電 容 膜 片 真 空 計

CDG100D

INFICON SKY CDG100D 真空計是高精度總壓強測量和控制的**選擇. 為達到優異的半導體和等離子

過程要求的性能， 將 CDG100D 真空計的溫度控制于100°C. 全量程范圍從100 毫乇 至 1000 乇， 配有全

部常用的法蘭型式和 fieldbus 接口， 和提供線性的 0 至 10 伏與氣體類型無關的壓強訊號. INFICON 電容

真空計采用超純抗腐蝕的氧化鋁陶瓷膜片. 陶瓷傳感器的優點是訊號穩定性好， 從大氣壓恢復快， 預熱時

間短和超長的使用壽命. INFICON CDG 是高質量， 成本效益好的壓強傳感器， 用于半導體， 等離子和各項

要求高的真空應用中.

優點

■ 低 CoO (擁有成本)， 50% 快速預熱， 能效高， 功耗低

■ 易整合于系統中， 寬量程范圍， 法蘭和接口， 標準型號帶有兩個設點

■ 簡易的一鍵操作或遙控訊號調零指令， 零點偏離可調

■ 診斷端口用于快速檢修和維護

■ 兩年保用期， 采用先進的加熱概念和傳感器保護， 真空計使用壽命長

■ 由于**的訊號穩定性和可重復性， 即使在嚴酷的等離子應用條件下仍可長期使用，

無需重新校準

■ 承諾和標準: CE， EN， UL， SEMI， RoHS

用途

■ 刻蝕， PVD， CVD和其它半導體生產過程

■ 化學和腐蝕性高溫過程

■ 需要真空計保護的常用薄膜和真空過程