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技術規格

(1)移動范圍: X 軸驅動部: 100mm

電動立柱(垂直方向): 250mm

(2)Z 軸測量范圍:1000μm(粗糙度時)、50mm（輪廓度時）

(3)直 線 度:粗糙度時(0.05+1.0L/1000)μm ，L:測量長度 (mm)

輪廓度時1μm/100μm

(4)測量精度(輪廓): Z 軸(垂直方向)指示精度 ±(1.8+│2H│/100)

μm Z 軸分辨率 0.1μm/50mm

X 軸(橫方向)指示精度±(1+2L/100)μm ，L=測量長度（mm）

粗糙度精度:X 軸分辨率0.1μm

(5)粗糙度解析項目:測量參數 (JIS ，ISO，DIN，ASME，CNOMO 等標準)

評價曲線 (斷面曲線，粗度曲線，波紋度曲線等)、特性圖形 (負荷曲線，

振幅分布曲線等)

(6)記錄倍率: 縱倍率(粗糙度用) 50，100，200，500，1K，2K，5K，10K，等

及自動

橫倍率(粗糙度用) 50，100，200，500，1K，2K，5K，10K，等及自動

縱倍率(輪廓用) 0.01～10，000，000 倍(任意，自動可)

橫倍率(輪廓用) 0.01～10，00，000 倍(任意，自動可)

(7)濾波種類:標準型濾波(2CR)，位相補償濾波(2CR)，高斯濾波.

(8)取樣長度:0.025，0.08，0.25，0.8，2.5，8，25mm(7 種)及任意.

(9)驅動速度:粗糙度0.03～3mm/s ;波紋度 0.03～20mm/s

(10)傳感器: 差動變壓式原理和光柵尺

(11)輪廓處理功能: 點，直線，部分園，橢圓，**點，*小點，距離，坐標

差，極坐標差，直交/極坐標表示.公差要素(點-直線，直線-直線，圓-圓，

直線-橢圓，圓-橢圓 等)。 對稱要素(點-點，點-圓，直線-直線，圓-圓，

圓-橢圓，橢圓-橢圓) 原點設定，X 軸設定，坐標系的平行移動/回轉移動

等等

(12)其他相關參數詳見產品樣本(相關參數以樣本為主).