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XENOS可在各類要求較高測量精度的領域使用——從科研機構的測量實驗室、航空和航天工業直至光學工業。這一高端測量機的測量精度達到技術限，其測量范圍近1立方米。創新的機械設計XENOS采用了全新的機械設計理念。與標準橋式測量機不同：Y導軌分布于側壁頂部，分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向移動，更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱真正的優勢。更低及恒定的移動重量造就了加速及較高速度的**統一。所有軸均采用線性驅動XENOS的所有軸均采用線性驅動。其優點：高速、加速快、定位精度高、驅動無剪切力影響。結合超高分辨率光柵尺技術，XENOS的線性驅動可獲得高度穩定性及低于100納米的高定位精度。例如，測針偏移量越恒定，即可獲得更佳的測量精度。于測量曲面時更顯見另一優勢：測針的移動路徑與預定值越吻合，即可實現越出色的精確性。虛擬中央驅動XENOS于Y軸向配備雙線性驅動系統，得益于蔡司較新的中央驅動技術可實現較佳的同步控制。該技術可據X軸位置**分布驅動力。作為較新控制系統及算法之**結合，這是在整個測量范圍內獲得較佳測量精度及運動穩定性的關鍵因素。碳化硅陶瓷XENOS在與精度密切相關的機器部件上采用創新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止，該材料從未在類似產品或精度的測量機器上得到使用。與常規陶瓷相比，碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%，而剛性則可較大提升30%，同時減重20%。與鋼材相比，碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。加強型VAST goldXENOS采用蔡司VAST gold測量探頭。在研發過程中，蔡司在測量精度和測量重復度方面對該探頭進行了優化。XENOS也采用了新型剛性連接。VAST gold探頭可與較大長度為800毫米的測針以及較大重量為500克的測針配套使用，包括非對稱型測針。優化的氣浮軸承全新強化處理氣浮軸承具有更佳的穩定性及測量精度。改進的電子設計通過全新的電子設計，移動線纜對精度影響顯著降低。計算機輔助精度修正（CAA）法和特殊附加CAA修正技術在獲得較大測量精度的過程中扮演著日趨重要的作用。