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Polytec顯微式激光測振儀

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廣州科服儀器有限公司

德國

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419

產品介紹

MSA-600顯微式激光測振儀

產品特點：

• 集多功能于一體的光學測量工作站

• 真正的實時測量，無需數據后處理

• ****的亞pm位移分辨率

• 測量速度快，振型可視化顯示

• 操作界面直觀友好

• 全自動化測量，易于集成至商用探針臺上

技術參數：

應用領域：

• 微型結構的面外振動，測量單點振動或者兩點間的相對振動

如：梳齒驅動器、射頻MEMS開關、FEM有限元模型驗證、CMUT、PMUT超聲換能器、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等

• 微型結構的面內振動

如：梳齒驅動器、MEMS扭轉激振器、壓電陶瓷制動器的橫向運動

• 微型結構的表面形貌

如：梳齒驅動器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌

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Polytec顯微式激光測振儀

廣州科服儀器有限公司

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