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WLI Infra干涉儀

德國BMT WLI Infra干涉儀是用于硅薄膜的厚度測量設備。儀器適用于實驗室、車間和生產線上的質量管理。測量頭提供**的重復性，設計堅固緊湊、免維護，適用于在線測量。

產品特點：

MEMS、硅梁、透明薄材料的非接觸高精度厚度測量；

納米級分辨率；

手動或自動測量步驟設計，簡單易用；

不受溫度變化和熱效應的影響；

**的重復性；

可配備表面輪廓測量。

技術參數(shù)：

厚度分辨率（nm） <1

探針大小 （μm） 約150（可定制）

厚度范圍 （μm） 0.1-600

儀器尺寸 （mm） 320x320x380

重量 （kg） 120

晶圓夾具 定制，可達30cm

全自動測量

標準或定制的軟件包