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CIF掃描電鏡等離子清洗機
CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機采用遠程、原位雙等離子清洗源設計,并可自動切換,一機多用。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷,同時可實現常規等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。
產品特點
u 雙等離子清洗源
u 一機多用
u 高效低損傷
技術參數
產品型號 | CIF-SEM |
法蘭接口 | KF40 |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz射頻電源,射頻功率5-100W可調,自動匹配器 |
氣體控制 | 標配雙路50毫升/分氣體質量流量控制器(MFC),精確測量自動控制氣體流量,不會受環境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計, 測量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面 |
電源/功率 | 220V,50/60Hz,300W |
可選配件 | 可選氧氣、氮氣、氫氣發生器, 氫氣純度﹥99.999%,輸出流量0-300ml/min |
質量保證 | 二年質保,終身維護 |
FORJ
德國MicroTec—CUT4055
PD-10電鏡粉末制樣儀
全自動切片機
YPZ-GZ110L
SPEED wave
ZYP-X60T
XHLQM-30
Spex 3636 X-Press? 實驗室用自動壓片機