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CIF勻膠機

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CIF勻膠機

CIF勻膠機轉速穩定、啟動迅速,旋涂均勻,操作簡單,結構緊湊實用,為實驗室提供了理想的解決方案。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、化工材料、生物材料、光學,硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

產品特點

u 采用閉環控制伺服電機,數字式增速信號反饋,速勻準確,壽命長,保證勻膠均勻。

u 5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設置)可選配10個可編程程序,每個程序下可設置10個勻膠梯度階段,*多100個階段

u 內置水平校準裝置,*限度的保證旋涂均勻,可對大小不同規格的基片進行旋涂

u 多重安全保護

電磁安全開關,蓋子打開卡盤停止,保證安全;

蓋子自鎖功能防止飛片蓋彈開傷人;

雙重安全上蓋聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,限度保證實驗人員安全。

u 一機兩用,根據不同樣品可選真空盤和非真空卡盤兩種旋涂模式。

u 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,PTFE旋涂腔體,聚丙烯NPP-H)旋涂托盤,PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋,耐酸堿防腐蝕,保證儀器苛刻條件下能正常運行

u 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP 等多種材料。

技術參數

型號

轉速(轉/分)

轉速穩定度

勻膠時間

旋涂基片尺寸mm

外型尺寸(LxWxH)mm

SC1

50-10000

±1%

0-2000S

圓片Φ5-Φ100方片100x100

310x260x250

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