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·PR500/510等離子灰化機

高頻輸出 50~500W，反應腔 Φ215×305mm

低溫等離子·經典桶型。

PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制

低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作（PR510），提高了操作性及安全性，是一款小型緊湊型的等離子處理設備。

用途

·去除光刻膠

·部品清洗

·界面活性處理

·微研磨

·硅晶圓，玻璃基板對應

特征

·大口徑（Φ215mm）石英反應腔

·小型一體化設計

·操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）

規格